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8インチウェーハトランスファーボックスの検査
8インチウェーハトランスファーボックスの検査
ゲージ距離5〜18mmの反射型プラスチック光ファイバーセンサーFRH-38H-20は、さまざまなウェーハカセットが配置されているかどうかを検出できます。
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FRH-38H-20 プラスチックファイバーセンサ